热式气体质量流量计高纯氮气测量应用案例（新材料企业）

产品名称：热式气体质量流量计

产品型号：BR-RSL-100

所属行业：新材料

测量介质：氮气

项目地点：江苏宿迁

一、 项目工况背景

某新能源新材料制造企业主营硅基负极材料、陶瓷粉体研发生产，多条回转烧结炉、CVD沉积产线均使用高纯氮气作为惰性保护载气。氮气纯度99.999%，管道工况压力0.3–0.8MPa，管道DN80，流量跨度大，炉体间歇启停造成氮气流量从微量吹扫到大流量置换频繁切换。企业原有体积式流量计受温度、压力波动影响，计量偏差大，无法**管控氮气消耗与炉内气氛配比。

二、 原有计量方案存在痛点

传统体积流量计必须配套温度、压力变送器做补偿，整套设备管线复杂，维护成本高。新材料产线对微量氮气敏感度高，低流速吹扫阶段仪表极易出现信号丢失；同时设备存在机械转动结构，车间轻微震动便会引发数据漂移，无法对接工厂PLC智能能耗统计系统，长期存在氮气浪费、工艺批次稳定性差等问题。

三、 选用热式气体质量流量计适配方案

现场选用管段式热式气体质量流量计用于高纯氮管道监测，设备基于热扩散恒温差原理，直接测量气体质量流量，无需额外温压补偿。仪表316L不锈钢全流通结构适配高纯氮气洁净工况，量程比100:1，兼顾微量吹扫与大流量置换测量；无机械活动部件，抗车间设备振动，支持4-20mA、RS485数字信号输出，可直接接入厂区自动化控制系统。

四、 现场安装与调试运行效果

仪表直管段安装要求短，无需停产切割长管路，单次安装调试仅半天完成。连续六个月运行数据稳定，高低流量切换无明显误差，低流速吹扫工况下测量精度稳定控制在±1%FS。系统实时上传氮气瞬时流量、累计消耗量，车间可依据流量数据**调节炉内氮气供给，规避过量通气造成的原料成本损耗。

五、 行业应用总结价值

热式气体质量流量计 适配新材料行业高纯氮气、氩气等惰性气体计量场景，针对热处理、气相沉积等间歇用气工况优势突出。该案例印证，在洁净干燥、流量波动大的低压气体管线中，热式质量流量计可简化配套设备、提升计量**度，为新材料工厂的工艺标准化、能源精细化管理提供可靠流量数据支撑。